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准分子激光器:半导体制造中的关键技术  

准分子激光器:半导体制造中的关键技术  

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  • Time of issue:2025-01-08 09:56
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(Summary description)激光混合气体是激光制造和应用中的重要工作介质,包含不同成分的气体以实现特定的激光输出特性。二氧化碳激光、准分子激光和氦霓虹激光是最常见的类型,广泛应用于工业加工、半导体制造和光学示范等领域。气体的高纯度和精确比例对激光性能至关重要,同时,安全储存和使用也是不可忽视的重点。

准分子激光器:半导体制造中的关键技术  

(Summary description)激光混合气体是激光制造和应用中的重要工作介质,包含不同成分的气体以实现特定的激光输出特性。二氧化碳激光、准分子激光和氦霓虹激光是最常见的类型,广泛应用于工业加工、半导体制造和光学示范等领域。气体的高纯度和精确比例对激光性能至关重要,同时,安全储存和使用也是不可忽视的重点。

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准分子激光器:半导体制造中的关键技术  

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激光器混合气体是指在激光生成和应用过程中,各种气体按一定比例混合而成的工作介质,以实现特定的激光输出特性。激光器的不同类型需要使用不同成分的激光混合气体。以下是你的详细介绍:
一、常见的类型和应用
1、二氧化碳激光混合气体:主要由二氧化碳(CO2)、氮(N2)和氦组成(HE)组成。二氧化碳激光器广泛应用于切割、焊接和表面处理等工业加工领域。其中,二氧化碳是产生激光的关键物质。氮气可以加速二氧化碳分子的能级跃迁,提高激光输出功率。氦可以帮助散热,保持气体放电稳定,提高激光束的质量。
2、准分子激光混合气体:稀有气体(如氩气)(AR)、氪(KR)、氙(XE))和卤族元素(如氟)(F)、氯(CL))ARF等混合物、KRF、xecl等。这种激光器常用于光刻技术,可以实现半导体芯片制造中高分辨率的图形转移;也用于眼科手术,如准分子激光原位角膜磨镶。(LASIK),可以准确切割角膜组织,矫正视力。
3、氦气霓虹激光器混合气体:氦气和霓虹气按一定比例混合,比例一般为 5:1 到 10:1 它们之间。氦霓虹激光是最早出现的气体激光器之一,输出波长多为 632.8 纳米,红色可见光。常用于光学示范、全息摄影、激光指向等领域,如施工中的直接定位,也用于超市条形码扫描仪。
二、使用注意事项
1、纯度要求高:激光混合气体中的杂质会影响激光输出功率、稳定性和光束质量。如果水腐蚀激光器的内部部件,氧气会氧化光学部件,降低其性能。因此,通常需要实现气体的纯度 99.99% 上述,特殊应用甚至要求 99.999% 以上。
2、精确比例:每种气体成分的比例对激光性能有显著影响,精确比例应严格按照激光设计要求进行。例如,在二氧化碳激光器中,氮气和二氧化碳的比例会影响激光输出的功率和效率。
3、安全储存和使用:部分激光混合气体有毒、腐蚀性或易燃易爆。如果准分子激光器中的氟气有严重的毒性和强腐蚀性,在储存和使用过程中应采取严格的安全措施,如使用密封储存容器、通风设备和气体泄漏检测装置。
广泛销售激光混合气的武汉纽瑞德特种气体有限公司,欢迎致电400-6277-838咨询。

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