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工业级与电子级硅烷气,选对纯度至关重要
- Categories:产品知识
- Author:
- Origin:
- Time of issue:2024-11-04 10:54
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(Summary description)不同纯度的硅烷气在各个行业具有广泛的应用,从工业用途如金属表面处理和玻璃制造,到高纯度电子级硅烷气在半导体和太阳能电池生产中的重要角色,硅烷气成为现代工业与科技的重要材料。
工业级与电子级硅烷气,选对纯度至关重要
(Summary description)不同纯度的硅烷气在各个行业具有广泛的应用,从工业用途如金属表面处理和玻璃制造,到高纯度电子级硅烷气在半导体和太阳能电池生产中的重要角色,硅烷气成为现代工业与科技的重要材料。
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- Time of issue:2024-11-04 10:54
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工业级与电子级硅烷气,选对纯度至关重要
硅烷气的纯度不同,用途也不同,具体如下:
1、工业硅烷气(纯度) 3N-4N,即 99.9%-99.99%):
1、金属表面处理:可用于钢表面硅涂层等金属材料的表面改性和预处理,提高金属的耐腐蚀性、耐磨性和抗疲劳性。
2、玻璃制造:在玻璃工业中,它被用作提高玻璃性能的添加剂。例如,添加硅烷气体可以提高玻璃的强度、硬度和耐热性,但也可以降低玻璃的表面张力,使其更容易加工和成型。
3、橡胶加工:用于橡胶硫化过程,可提高橡胶的交联密度,提高橡胶的力学性能、耐热性和耐老化性。硅烷气体也可用作橡胶的偶联剂,以增强橡胶与其他材料之间的粘结强度。
4、太阳能电池生产:在太阳能电池生产过程中,工业硅烷气体可用于制备非晶硅膜。虽然非晶硅膜的光电转换效率相对较低,但成本较低,适合大规模生产。因此,它在一些对成本敏感的太阳能电池应用中占有一定的市场份额。
二、电子级硅烷气(纯度) 5N 及以上,即 99.999% 及以上):
1、半导体制造:是半导体微电子工艺中最重要的特殊气体之一,广泛应用于制备单晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅等微电子薄膜。例如,在集成电路制造中,用于化学气相沉积(CVD)在此过程中,一层固体膜沉积在硅片表面,形成电路元件结构。
2、制造平板显示器:在 TFT(薄膜晶体管)/LCD(LCD)在生产过程中,硅烷气等气体正在生产中 CVD 解离反应沉积在玻璃基板表面,在高频交变电场的作用下,形成绝缘膜、半导体膜等各种功能膜。
3、光伏工业:在光伏工业中,用于制备多晶硅薄膜和太阳能电池钝化层。例如,在光伏工业中。 TOPCon 硅烷气是电池技术中多晶硅薄层的主要硅源。在电池背面制备超薄隧道氧化层和混合多晶硅薄层,形成钝化接触结构,提高电池光电转换效率。
4、电子多晶硅生产:电子多晶硅是半导体行业的重要原料,可制成电路元件结构,广泛应用于计算机、通信等领域。高纯硅烷气是电子多晶硅生产的关键原料之一。
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