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电子级二氧化碳在半导体工业中的纯化技术
- Categories:产品知识
- Author:
- Origin:
- Time of issue:2024-07-10 09:59
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(Summary description)电子二氧化碳是半导体制造中不可或缺的高纯度材料,它在清洁、冷却和保护精密设备等方面发挥着重要作用。具备低杂质含量的电子二氧化碳能够确保产品的质量和稳定性,因此在制造过程中的纯净环境要求越来越高。了解电子二氧化碳的作用及其相关标准与管理,对于保障半导体工业的发展至关重要。
电子级二氧化碳在半导体工业中的纯化技术
(Summary description)电子二氧化碳是半导体制造中不可或缺的高纯度材料,它在清洁、冷却和保护精密设备等方面发挥着重要作用。具备低杂质含量的电子二氧化碳能够确保产品的质量和稳定性,因此在制造过程中的纯净环境要求越来越高。了解电子二氧化碳的作用及其相关标准与管理,对于保障半导体工业的发展至关重要。
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- Time of issue:2024-07-10 09:59
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电子级二氧化碳在半导体工业中的纯化技术
电子二氧化碳是一种高纯度的二氧化碳气体,主要用于电子工业的清洗和冷却过程。该级别的二氧化碳杂质含量极低,能满足半导体、光纤、电子设备制造等对纯环境要求较高的行业需求。为了保证所有潜在污染物的去除,制备过程涉及到精确的纯化技术。这类污染物可能包括水、有机物、颗粒、其它气体杂质、细菌和病毒。纯化过程通常包括预净化、蒸馏、吸附、膜分离和最终精确过滤。
为了保持光源的稳定性和精度,在半导体制造过程中,电子二氧化碳用于光刻机的光源冷却。另外,它还用来清洁设备中的颗粒和残留的化学物质,以确保硅片和其它电子元件的清洁。由于在这些过程中,即使是微量杂质也会导致产品缺陷,因此使用高纯度的二氧化碳非常重要。
国际组织通常由国际半导体设备和材料组织国际组织(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational,SEMI)定义。举例来说,SEMIC12-1104标准规定了半导体生产中二氧化碳的纯度要求,包括最大杂质水平。
为了防止污染,保证安全,储存和运输需要特殊的设施和容器。这类气体通常存放在经过特殊处理的高压气瓶或储罐中,并在整个供应链中遵循严格的质量控制程序。
电子二氧化碳是电子工业的关键材料,其高纯度和低杂质含量对于保证精密设备的正常运转和产品质量至关重要。伴随着对高纯度气体的需求不断增加,相关的纯化技术和供应链管理也不断得到优化和完善。
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