质量纯度关键，电子气体国标来了

国家标准委员会于2024年上半年颁布了五项国家电子气体标准：GB《电子气体一氧化碳》/T4371-2024GB/T 2024年3月15日，电子气体二氧化碳和GB/T4373-2024年电子气体二氧化碳GBT43762024《电子气体四氟甲烷》和GB/T4977-2024《电子气体八氟环丁烷》将于4372-2024年发布。 2024年4月25日颁布，从2024年11月1日起正式实施。
电子气体是半导体工业中使用的关键材料，其质量和纯度直接影响芯片制造的效率和成品率。电子气体在半导体制造过程中起着至关重要的作用，如蚀刻、沉积和清洁。电子气体不仅是半导体制造的基本保证，也是促进科技进步和产业发展的关键力量。它被广泛使用，包括晶圆制造、显示生产和太阳能电池，支持许多高科技产业的发展。
气相色谱等分析仪主要用于检测电子气体的质量和纯度：
GB/T 《电子气体基硫》4373-2024
按标准规定 GB/T 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定的切割取样方法，确定了硫中氢、氧气、氮气、一氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫和二硫化碳的含量。
GB/T 43976-2024电子气体四氟甲烷
按标准规定 GB/T 28726《气体分析-氨离子气相色谱法》规定了四氟甲烷中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟甲烷和三氟甲烷的切割(除)取样方法。
GB/T 电子气体八氟环丁烷43977-2024
按标准规定 GB/T 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定的切割(除)取样方法测定了八氟环丁烷中氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳和六氟丙烯的含量。
GB/T 电子气体471-2024年电子气体 -氧化碳》
按标准规定 GB/T 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定了一氧化碳中氢、氧+气、氮、二氧化碳含量的方法。
GB/T 《电子气体二氧化碳》4372-2024
按标准规定 GB/T28726《气体分析-氢离子气相色谱法》规定的二氧化碳中氢、氧+气、氮、一氧化碳含量的切割进样方法。