电子气体：电子工业的黄金材料

特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常 多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，比如高纯度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 生产环节中，使用的电子气体有差不多有 100 多种， 核心工段常见的在 30 种左右。正是这些气体通过不同的制程使硅片具有半导体性能，它又决定了集成电路的性 能、集成度、成品率，即使是某一种某一个特定杂质超标，都将导致质量严重缺陷，严重时会因不合格气体的 扩散，导致整个生产线被污染，乃至全面瘫痪。因此，电子气体是制造过程基础关键材料，是名副其实的电子工业“血液”。武汉纽瑞德特种气体有限公司顺应市场发展需要，致力于向市场提供高质量的特种气体、稀有气体、高纯气体、有机气体、专业为各行业定制混合气体和标准气体，主营产品就是电子气体，如六氟化硫、四氟化碳、高纯氨气、笑气、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯气、氯化氢气体、三氟甲烷、硅烷等，具有很强的竞争实力。欢迎广大用户了解纽瑞德，选择纽瑞德，实现“合作共赢”。您和纽瑞德的距离，只隔着一个电话，400-6277-838。