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显示屏生产中的关键气体及其应用

显示屏生产中的关键气体及其应用

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  • Time of issue:2024-04-11 10:12
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(Summary description)电子特种气体和电子大宗气体在显示屏制造中占据主导地位,其中硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨气及磷化氢混合物是主要的制造气体。其中,氮气在LTPS和MO显示屏生产中使用量最大,每平方米素玻璃重约2公斤,

显示屏生产中的关键气体及其应用

(Summary description)电子特种气体和电子大宗气体在显示屏制造中占据主导地位,其中硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨气及磷化氢混合物是主要的制造气体。其中,氮气在LTPS和MO显示屏生产中使用量最大,每平方米素玻璃重约2公斤,

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显示屏生产中的关键气体及其应用

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有源矩阵薄膜晶体管显示屏(TFT),自20世纪90年代以来,它一直是我们生活中不可或缺的一部分。它在我们的生活中随处可见。没有手机和电视,我们每天都离不开路上的广告和标志。
显示屏的制造与半导体设备的制造有很多相似之处。不仅生产过程的步骤非常相似,而且在生产过程中需要大量的气体,使用的气体类型大多相同。
显示屏生产中使用的气体主要分为两类:电子特种气体和电子特种气体。电子特种气体主要指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨和磷化氢的混合物,占制造气体的52%;电气气是指氦气、氮气、氧气、氢气、二氧化碳和氩气,占制造使用气体的48%。
硅烷:SiH4是显示屏制造中最重要的气体之一,它与氨(NH3)相结合,形成A-Si晶体管氮化硅层,与氮(N2)相结合,形成LTPS晶体管预分子激光退火a-Si,或者氧化亚氮(N2)O)与形成MO晶体管的氧化硅层相结合。
三氟化氮:NF3是A-Si和LTPS显示屏生产中使用最多的单一电子材料,而NF3是A-Si和LTPS显示屏生产中使用最多的单一电子材料,而N2O在MO生产中却没有N2O那么多。NF3用于清洁PECVD腔室。为了在竞争激烈的市场中建立成本优势,这种气体需要可扩展性。
氧化亚氮:LTPS和MO显示屏都是用来生产的。N2O在MO生产中的消耗和使用已超过NF3,成为MO生产中最常用的电子材料。N2O是一种区域性、本地化的产品,由于成本低,不能使用物流成本高的长供应链。平均每5.5平方米的素玻璃重约2公斤,每月生产120K的8.5通常需要240吨N2O。 MO显示屏。最大的N2O压缩气体拖车每次只能提供6吨N2O,对MO生产而言,这种方法成本高,风险大。
氮气:一般大型显示厂氮需求可达5万元 Nm3/小时,所以现场发生器是一个有成本效益的解决方案。与传统的氮气工厂相比,显示屏制造中的二氧化碳排放减少了8%。
氦:氦用于过程和过程后的冷却玻璃。由于氦是一种不可再生气体,制造商正在研究减少氦的使用,因为它的成本和可用性。

武汉纽瑞德贸易有限公司成立于2007年,主要经营特种气体、稀有气体、高纯气体、有机气体、专业为各行业定制混合气体和标准气体,气体种类齐全,各规格、纯度均有售,欢迎来电咨询400-6277-838。

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