电子特气在高科技产业的应用揭秘

电子特殊气体是电子气体的重要分支，是电子工业生产中不可或缺的原材料，如集成电路、显示面板等。电子特殊气体种类繁多，广泛应用于离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等环节。它被称为集成电路、液晶面板、LED和光伏材料的“食品”和“来源”，决定了设备的最终产量和可靠性。电子特殊气体广泛应用于半导体、微电子和相关太阳能电池等高科技行业，或用于薄膜沉积、腐蚀、混合、钝化、清洁，或用于载气和保护气氛。由于半导体和微电气的特殊性，

上游电子特气多为III(硼、铝、钒)、IV(碳、硅、邈)、V(氮、磷、砷)和卤素(氟、氯)的基础化工行业在集成电路、面板、LED等领域的各个工艺环节都有多种用途。电子特气是电子工业生产中不可缺少的原材料，如集成电路、显示面板等。到2021年，集成电路中使用了43%的电子特气，其次是显示面板，21%，13%和6%的LED和光伏。主要应用包括离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等。

什么是常见的电子特气？

纯度高C4F6， SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。

特种气体产品应满足“超纯”和“超净”的要求，以保证半导体设备的质量和成品率，“超纯”要求气体纯度达到。 4.5N、5N 甚至 6N、7N作为特殊气体的核心参数，每次纯度增加一个N，粒子和金属杂质浓度降低一个数量级，工艺复杂性和难度明显提高。（N 是 Nine 简介，几个N 有几个代表 9，例如3N 纯度为99.9%)，“超净”要求严格控制粒子和金属杂质的含量。当前国内企业普遍实现5-6n，而海外龙头企业如林德、法液空等技术可达6-9n。

市场如何？

2016年，中国特种气体市场规模达到156亿元，2020年达到282亿元。从2016年到2020年，中国特种气体市场平均增速超过15%，增速明显。一些机构预测，2020年后仍将保持15%以上的高速增长趋势，预计2025年中国特种气体市场将达到691亿元。与此同时，国内电子特种气体产业技术研发稳步推进，有望实现进口替代。2020年，全球电子气体市场规模将达到58.5亿美元，预计2025年将达到80亿美元。