江西永修专项工程 每年产1936.2吨 电子特气  

近日，永修县人民政府宣布，江西华特电子化工有限公司计划投资17400万元建设年产1936.2吨电子特种气体项目，在江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区建设。根据《环境影响评价公众参与办法》(生态环境部令第4号)的规定，向公众公布相关环境评价信息。


项目介绍
项目名称

年产1936.2吨电子特气项目的江西华特永修。

建设地点

现有厂区位于江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区，中心地理坐标为北纬N29°8′16.331″，东经115°46′8.336″。

建设性质

改扩建。

建设规模

一套15t/a乙硅烷，一套1t/a丙硅烷，一套0.2t20t/a硫烷、300t/aC4F6新扩建生产装置、600t/a环氧乙烷分装置、1000t/a三氟化氮分装置、20t/a硫烷分装置。

有关三氟化氮

作为集成电路、显示面板等制造过程中使用的优良等离子蚀刻气体，三氟化氮具有优异的蚀刻速度和选择性。与其他含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫相比，不会导致碳和硫沉积在硅表面，使用后对表面污染较小。因此，三氟化氮是目前市场上最大的电子特种气体产品之一。

三氟化氮是国产化比较成功的一种含氟特气，国外生产企业主要包括SK Materials、国内生产企业主要有南大光电、浩华气体、中船特气等，韩国晓星、日本关东电化、德国默克等。

关于六氟丁二烯

六氟丁二烯(C4F6)又称全氟丁二烯，被认为是下一代蚀刻气体的竞争优势。它可以替代CF4用于干燥KRF激光锐利蚀刻半导体电容器图形的过程。C4F6在先进技术层面有很多蚀刻优势:选择性高、精度高、各向异性好，适合100 NM以下电子线路的蚀刻性能优于全氟碳气体和NF3；与C4F8相比，C4F6具有较高的光阻和氮化硅选择比，这是两个非常重要的优点；此外，环境也是一个非常重要的因素，C4F6的全球变暖潜力值(GWP)几乎为零。专家指出，到目前为止，C4F6可能是唯一可以提供蚀刻条件和减少排放的替代品。

六氟丁二烯(C4F6)是一种附加值高、市场前景广阔的电子气体。目前国内子公司主要由海外厂商和海外厂商经营。韩国厚城、梅塞尔、关东电化、大阳日酸在中国都有生产布局。绿菱气体、玉极科技、浙江化工学院、派瑞特气体等国内很多企业也开始研究。