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气体纯度及其表示法

气体纯度及其表示法

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  • Time of issue:2024-01-03 11:20
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(Summary description)本文介绍了气体纯度及其不同表示方法,包括百分比和N数表示法。根据气体纯度的不同,气体分为普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,不同纯度的气体应用于不同的设备生产工艺中。气体纯度对器件制造有重要影响,尤其在集成电路制造中,高纯气体和超高纯气体的应用至关重要。

气体纯度及其表示法

(Summary description)本文介绍了气体纯度及其不同表示方法,包括百分比和N数表示法。根据气体纯度的不同,气体分为普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,不同纯度的气体应用于不同的设备生产工艺中。气体纯度对器件制造有重要影响,尤其在集成电路制造中,高纯气体和超高纯气体的应用至关重要。

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气体纯度及其表示法

 

     由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等,所以可将组成气体的物质(或元素)称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为:除本气体成份外,所含其它物质的多少。例如:氮气的纯度,是指除N成份外,含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属、尘粒等杂质的多少;氨气的纯度,是指除NH3成份外,含有的O2、N2、CO2、H2O、尘粒等杂质的多少;又如氮和氦的混合气,是指除N2和He成份外,含有的O2、CO2、H2O尘粒等杂质的多少。

     气体纯度的提法有多种,如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等,随着超大规模集成电路(VLSI)和特大规模集成电路(ULSI)的发展,又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切,只是粗略的讲了气体纯度的高低,没有真正说明气体纯度的大小。准确表示气体的纯度,主要有二种方法。即:

     1、用百分数表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。

     2、用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N数目与(1)中的“9”的个数相对应,小数点后的数表示不足“9”的数。如4N(99.99%),6N(99.9999%),7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。

     根据气体纯度的不同,通常又将气体纯度分为四级,即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,下表给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。

器件生产工艺上的应用 纯度要求  气体等级 
一般器件 99.90%  普通气体 
晶体管和晶闸管等 99.99-99.999%  纯气体 
大规模集成电路和特殊器件等 99.999-99.9999%  高纯气体 
超大规模集成电路和特大规模集成电路等 >99.9999%  超高纯气体 

 

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