经Cymer认证的氖气回收系统推向市场，准分子激光气体游戏规则可能会发生变化！

EFC气体和先进材料公司（以下简称EFC）是特种气体和先进材料领域的领先企业。该公司于12月4日宣布推出氖气回收系统，该系统已获得Cymer的正式认证，可用于其准分子激光器。氖气是深紫外线的（DUV）光刻技术的必需品在激光光源生产中起着至关重要的作用。这个开创性的系统可能会为终端用户提供长期稳定的氖气价格。

EFC执行副总裁Mattadams强调了氖气回收系统在促进创新和可持续发展方面的作用。“该系统已获得OEM认证，是准分子激光技术的重大飞跃，不仅提高了运行效率，而且带来了环境效益。

氖气回收系统的主要功能：

OEM认证优秀产品：回收系统通过OEM认证，可与行业标准分子激光无缝集成，确保可靠性和高性能；

稳定的氖气价格：该系统是该行业的创造性举措。通过捕获和回收通常需要排放的激光气体，确保了氖气价格的长期稳定和供应链的连续性，为企业带来更好的财务规划和运营效率；

减少碳足迹：回收可以抵消对生产氖气的需求。未来20年，每个半导体工厂的二氧化碳排放量可减少100多万吨。这符合半导体行业对可持续制造的承诺；

EFC总裁兼首席执行官PavelPerlov表示，我们新推出的氖气回收系统是稳定氖气回收价格、确保其稳定的重要里程碑。无论全球供应波动如何，该系统都可以提供解决方案，引领半导体行业走向负责任的未来。