太阳能电池气体如高纯硅烷的概述

硅烷SiH4高纯度特种气体、磷烷PH3、砷烷AsH3广泛应用于电子工业、太阳能电池、移动通信、汽车导航、航空航天、军事工业等领域。目前我国只能生产纯度为3N~4N的特种气体，而在国家战备武器研究、神州五号运载火箭控制系统电子原装件制造、卫星上使用的太阳能电池制造等诸多重要领域，急需的6N标准气体全部依靠进口。当前，只有美国、俄罗斯等发达国家才能生产。由于国际形势的紧张和变化，美国SOLKATRONIC公司经营这种气体，我国进口这种气体往往受到阻碍，因此直接制约了上述相关领域的发展。在前苏联时期，白俄罗斯无线电材料研究所承担着开发高纯度特种气体的任务，具有开发和生产这种气体的能力。经协商，白方愿与我们合作，提供技术共同开发该产品。本项目主要利用该研发的烷类气体深度净化技术，在中国建立高纯度特种气体研究基地和工业化基地，解决国内高纯度气体材料急需的国产化问题，使硅烷、磷烷、砷气体的纯度达到6N(99.9999%)。该项目在国内首创，技术指标达到国际同行业先进水平，填补了我国高纯度特殊气体生产的空白，彻底改变了我国电子特殊气体长期受制于人的局面。

国内外现状

1983年，中国开发了超纯度特种气体。当时，北京氧气厂、浙江大学、大连光明化学研究所和保定红星单晶硅厂都从事这项工作，.研究的内容是超纯气体和烷类气体。

“七五”期间，南京特种气体厂(公司)由国家科委委托电子部、化工部牵头，组织电子气体攻关招标会。、中国科学院沈阳金属研究所、大连光明研究所、核工业部理化研究所、南京大学。研究项目主要包括烷类气体、化学气体腐蚀气体、高熔点氟化物金属气体和金属有机化合物("MO”源)、开发气瓶处理技术及配套设备，涉及20多种气体品种。

1991年，在“八五”科技研究项目——集成电路关键材料研究项目下，国家专门设置了“电子特种气体研究”子项目，开始了新一轮的研究。

我国对超纯度特种气体的研究经历了20多年的努力，但效果并不大。虽然开发了一批特种气体，但质量一般，基本满足2~3µM技术(即中小型集成电路所用的气体)，而超大型集成电路(VLSI)和特大(ULSI)大型集成电路的气体仍然无法生产，特别是纯度超过6N的气体仍需进口。

就国外情况而言，由于美国在技术上被封锁，在产品销售上受到限制，我国无法将这项技术引入中国。