半导体的“血液”，惰性气体在芯片中的应用

惰性气体又名稀有气体，是指元素周期表上所有0族元素所对应的气体单质，这些气体在常温常压下均是无色无味的单原子气体，难以进行化学反应，相当稳定。常见的惰性气体有：氦气（He）、氖气（Ne）、氩气（Ar）、氪气（Kr）、氙气（Xe）、氡气（Rn）等等。
惰性气体常应用于工业、医学、尖端科学技术等领域以及日常生活中，芯片制造环节中，除了需要用到光刻机、光刻胶、硅片等关键设备和原材料以外，惰性气体也是必不可少的原料。利用惰性气体极不活泼的化学性质，可用于生产过程中的保护气，其中，氖气、氙气、氪气是芯片制造过程中必不可少的原材料，相当于半导体产业的血液。例如，氖气对于雕刻电路，芯片制造的精细化及稳定起着十分重要的作用，全球近8成的氖气 被用于半导体制造。所以，没有了惰性气体，就没法制造芯片。

但惰性气体并不能直接用于半导体的生产制造，需要以混合气体的形式使用，例如氪氖混合气、氟氖混合气等等，这类混合气体也成为电子特种气体。全球电子特气市场主要被美国空气化工、德国林德、法国液化空气、日本太阳日算这4家公司掌控，总共占据全球90%以上的市场份额，同时也占据了我国电子特气市场88%的份额。

电子特气存在技术壁垒，对气体纯度，混合气体配比精度等具有极高要求，导致很多厂商不会轻易更换电子特气供应商。所以，不仅是芯片制造环节，即便在电子特气供应链中，国产替代同样任重而道远。武汉纽瑞德特种气体（400-6277-838）是重要的供应链，其供应的特气广泛应用于芯片制造和高科技产品、实验室。